[实用新型]一种LED晶圆自动清洗机

摘要

本申请公开了一种LED晶圆自动清洗机，其特征在于，包括：进料盒、一次清洗仓、二次清洗仓、氮气清洁仓、回料盒、取料夹、送料夹与传送带。本实用新型解决了传统LED晶圆厂在化学抛光工序后，采取人工清洁的方式，效率低且良品率低的问题。

主权项

一种LED晶圆自动清洗机，其特征在于，包括：进料盒、一次清洗仓、二次清洗仓、氮气清洁仓、回料盒、取料夹、送料夹与传送带，其中，所述进料盒，为矩形结构，设置有出口，容纳至少1个LED晶圆，该进料盒的出口与所述传送带的上轨道相连接位置上方还设置有所述取料夹；所述一次清洗仓，为旋转式圆筒形，设置有出口和入口，该一次清洗仓内设有带喷头的毛刷，该一次清洗仓的入口与所述传送带的上轨道相连接，该一次清洗仓的出口与所述传送带的下轨道相连接；所述二次清洗仓，为旋转式圆筒形，设置有出口和入口，该二次清洗仓内设有带喷头的毛刷，该二次清洗仓的入口与所述传送带的上轨道相连接，该二次清洗仓的出口与所述传送带的下轨道相连接；所述氮气清洁仓，为旋转式圆筒形，设置有出口和入口，该氮气清洁仓内设有氮气枪，该氮气清洁仓的入口与所述传送带的上轨道相连接，该氮气清洁仓的出口与所述传送带的下轨道相连接；所述回料盒，为矩形结构，设置有入口，容纳至少1个LED晶圆承载盘，该回料盒的入口与所述传送带的下轨道相连接位置上方还设置有所述送料夹；所述传送带，由上下两条轨道组成，所述上下两条轨道分别设置在所述一次清洗仓、二次清洗仓与氮气清洁仓两侧，所述传送带的上轨道与所述进料盒的出口相连接，所述传送带的下轨道与所述回料盒的入口相连接；所述进料盒、一次清洗仓、二次清洗仓、氮气清洁仓与回料盒从左至右依次排列于所述传送带的上下两条轨道间。