[实用新型]供料装置和离子源装置有效
申请号: | 201520438997.9 | 申请日: | 2015-06-23 |
公开(公告)号: | CN204668275U | 公开(公告)日: | 2015-09-23 |
发明(设计)人: | 洪俊华;杨勇 | 申请(专利权)人: | 上海凯世通半导体有限公司 |
主分类号: | H01J37/317 | 分类号: | H01J37/317;H01J37/02 |
代理公司: | 上海弼兴律师事务所 31283 | 代理人: | 薛琦;吕一旻 |
地址: | 201203 上海市浦东新*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种供料装置和离子源装置,该供料装置包括容器、空心旋帽和空心杆,该容器包括一容器主体以及一颈部;该空心旋帽包括侧壁、端面和中空部,该中空部用于使该空心杆穿过;该空心杆包括均为中空的第一杆体、第二杆体以及位于该第一杆体和第二杆体之间的一突出部,当该空心杆被插入于该容器、且该空心杆的第二杆体伸出该第一通孔并且该空心旋帽旋紧于该颈部时,该第一杆体抵设于该容器的底部,该突出部的一端抵设于该端面。通过容器、空心旋帽和空心杆的组合使用,使得在倒置使用的情况下填料口和出气口合二为一成为可能;同时还能保证容器在倒置使用中,固体原料不会堵塞瓶口或进入空心杆体中造成真空腔的污染。 | ||
搜索关键词: | 供料 装置 离子源 | ||
【主权项】:
一种供料装置,其特征在于,其包括一容器、一空心旋帽和一空心杆,其中,该容器包括一容器主体以及与该容器主体相连的一颈部,该容器主体具有用于盛放固体原料的容置空间,该颈部上设置有外螺纹;该空心旋帽包括侧壁、与侧壁一端相连的端面以及由该侧壁限定的中空部,该端面上设置有与该中空部相连通的一第一通孔,该中空部用于使该空心杆穿过,该侧壁的内壁上设置有与该外螺纹相适配的内螺纹;该空心杆包括均为中空的第一杆体、第二杆体以及位于该第一杆体和第二杆体之间的一突出部,该突出部的外径大于该第一通孔的孔径,该第一杆体和该第二杆体的外径均小于该第一通孔的孔径,该空心杆的长度被设置为:当该空心杆被插入于该容器、且该空心杆的第二杆体伸出该第一通孔并且该空心旋帽旋紧于该颈部时,该第一杆体抵设于该容器的底部,该突出部的一端抵设于该端面。
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