[实用新型]Ⅲ族氮化物/异质衬底复合模板有效
| 申请号： | 201520439687.9 | 申请日： | 2015-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN204792796U | 公开（公告）日： | 2015-11-18 |
| 发明（设计）人： | 张纪才;王建峰;徐科 | 申请（专利权）人： | 苏州纳维科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/06 | 分类号： | H01L29/06;H01L29/205;H01L21/02 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人： | 李广 |
| 地址： | 215123 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型属于材料化学技术领域，尤其涉及一种Ⅲ族氮化物/异质衬底复合模板，该复合模板包括衬底层和外延层，所述外延层内存在纳米级的孔洞，所述外延层的材料为Ⅲ族氮化物，在纳米级孔洞层下方的Ⅲ族氮化物材料中含有Al元素，由于外延层中纳米孔洞的存在，有效地降低了Ⅲ族氮化物中的缺陷密度，避免了复合模板中裂纹的产生，而且生长工艺简单，适合推广。 | ||
| 搜索关键词： | 氮化物 衬底 复合 模板 | ||
【主权项】：
一种Ⅲ族氮化物/异质衬底复合模板，其特征在于：包括衬底层和外延层，所述外延层内存在纳米级的孔洞，所述外延层的材料为Ⅲ族氮化物。
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