[实用新型]一种脉冲离子束截面图像的测量装置

摘要

本实用新型提供一种脉冲离子束截面图像的测量装置，尤其是一种加速电压连续可调、脉冲为单次或脉冲频率可调的脉冲离子束截面图像的测量装置。所述的装置包括离子源、石英玻璃管、成像板、铝衬板、调距螺杆、调距螺母、不锈钢法兰、加速电源、真空机组、成像分析仪、离子源脉冲电源、隔离变压器。可方便地观测该图像的形状、定量测量束斑的横向尺寸和纵向尺寸。

主权项

一种脉冲离子束截面图像的测量装置，其特征在于，所述的装置包括离子源（1）、石英玻璃管(2)、成像板（3）、铝衬板（4）、调距螺杆（5）、调距螺母（6）、不锈钢法兰（7）、加速电源（8）、真空机组（9）、成像分析仪（10）、离子源脉冲电源（11）、隔离变压器（12）；其连接关系是，所述的离子源（1）、成像板（3）均设置在石英玻璃管（2）内，石英玻璃管（2）通过管道与真空机组（9）连接；铝衬板（4）依次通过调距螺母（5）、调距螺杆（6）固定连接在不锈钢法兰（7）上；成像板（3）固定在铝衬板（4）上；加速电源（8）的正极与离子源（1）的引出端连接，加速电源（8）负极与不锈钢法兰（7）连接；离子源脉冲电源（11）的公共端与离子源（1）引出端连接，离子源脉冲电源（10）正极与离子源（1）阳极连接，离子源（1）阳极与隔离变压器（12）的高压端连接；隔离变压器（12）的低压端与地连接。