[实用新型]工件抛光盘接触状态可调的抛光装置有效

专利信息
申请号: 201520455139.5 申请日: 2015-06-26
公开(公告)号: CN204913569U 公开(公告)日: 2015-12-30
发明(设计)人: 邓乾发;吕冰海 申请(专利权)人: 浙江工业大学
主分类号: B24B29/02 分类号: B24B29/02;B24B41/00;B24B49/00
代理公司: 杭州斯可睿专利事务所有限公司 33241 代理人: 王利强
地址: 310014 浙江省杭州市*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 一种工件抛光盘接触状态可调的抛光装置,包括抛光盘和工件抛光盘接触状态调整机构,所述工件抛光盘接触状态调整机构的基准盘顶面与球头盖固定连接,所述球头盖内有球头,所述球头与所述基准盘为点接触,所述球头与调整杆的下端连接,所述调整杆的上端与调整旋钮连接,所述调整旋钮外安装有锁紧圈,所述调整旋钮的外壁与调整套的内壁螺纹连接,所述调整套固定安装在基座上,所述基座的底面与抛光盘之间放置被加工工件,所述的基座上安装有一个千分表,所述千分表表杆与所述基准盘相接触,用于指示基准盘与所述基座相对位置变化。本实用新型能实现基片高精度、少/无损伤超光滑表面加工要求。
搜索关键词: 工件 抛光 接触 状态 可调 装置
【主权项】:
一种工件抛光盘接触状态可调的抛光装置,其特征在于:包括抛光盘和工件抛光盘接触状态调整机构,所述工件抛光盘接触状态调整机构的基准盘顶面与球头盖固定连接,所述球头盖内有球头,所述球头与所述基准盘为点接触,所述球头与调整杆的下端连接,所述调整杆的上端与调整旋钮连接,所述调整旋钮外安装有锁紧圈,所述调整旋钮的外壁与调整套的内壁螺纹连接,所述调整套固定安装在基座上,所述基座的底面与抛光盘之间放置被加工工件,所述的基座上安装有一个千分表,所述千分表表杆与所述基准盘相接触,用于指示基准盘与所述基座相对位置变化。
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