[实用新型]一种MEMS压力传感元件有效
| 申请号： | 201520456295.3 | 申请日： | 2015-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN204881959U | 公开（公告）日： | 2015-12-16 |
| 发明（设计）人： | 郑国光 | 申请（专利权）人： | 歌尔声学股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/12 | 分类号： | G01L9/12;B81B3/00 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 马佑平;马铁良 |
| 地址： | 261031 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种MEMS压力传感元件，包括：设有凹槽的基底；设置于基底上方的压力敏感膜，压力敏感膜密封凹槽的开口以形成密封腔体；位于密封腔体内的构成电容结构的可动极板和固定极板；其中，固定极板固定于基底凹槽的底壁，可动极板悬置于固定极板的上方并且与固定极板相对；压力敏感膜与可动极板连接，以在外界压力作用下带动可动极板运动。本实用新型的MEMS压力传感元件将压力敏感和电学检测分开，将压力敏感膜暴露在空气中，将电容结构设置在由压力敏感膜和基底围成的密封腔中，电容结构的可动极板由压力敏感膜带动，这样既完成压力敏感的功能，又屏蔽了外界对电容结构的电磁干扰。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 压力 传感 元件 | ||
【主权项】：
一种MEMS压力传感元件，其特征在于，包括：设有凹槽的基底(1)；设置于所述基底(1)上方的压力敏感膜(5)，所述压力敏感膜(5)密封所述凹槽的开口以形成密封腔体(500)；位于所述密封腔体(500)内的构成电容结构的可动极板和固定极板；其中，所述固定极板固定于基底(1)凹槽的底壁，所述可动极板悬置于所述固定极板的上方并且与所述固定极板相对；所述压力敏感膜(5)与所述可动极板连接，以在外界压力作用下带动所述可动极板运动。
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