[实用新型]一种电阻加热晶体生长信号采集控制装置有效
申请号: | 201520457166.6 | 申请日: | 2015-06-30 |
公开(公告)号: | CN204874832U | 公开(公告)日: | 2015-12-16 |
发明(设计)人: | 刘景峰 | 申请(专利权)人: | 北京奇峰蓝达光学科技发展有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00 |
代理公司: | 北京中创阳光知识产权代理有限责任公司 11003 | 代理人: | 尹振启 |
地址: | 100016 北京市朝*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种电阻加热晶体生长信号采集控制装置,该装置包括:导线、限流电阻、热偶真空规管、测量仪表和电源控制卡;其中,所述导线从电阻晶体生长炉的两个电极引出接入所述热偶真空规管的输入端,在热偶真空规管和电极之间接入所述限流电阻,热偶真空规管的输出端接入所述测温仪表的输入端,测温仪表的输出端连接至所述电源控制卡的输入端,从而控制电源控制卡的输出。本实用新型的结构简单,成本低廉,控制精度高等特点;通过热偶真空规管巧妙的将电压信号的微弱变化变为对炉内的温度高精度控制,从而有效的保证了晶体生长的稳定性和完整性。 | ||
搜索关键词: | 一种 电阻 加热 晶体生长 信号 采集 控制 装置 | ||
【主权项】:
一种电阻加热晶体生长信号采集控制装置,其特征在于,该装置包括:导线、限流电阻、热偶真空规管、测温仪表和电源控制卡;其中,所述导线从电阻晶体生长炉的两个电极引出接入所述热偶真空规管的输入端,在热偶真空规管和电极之间接入所述限流电阻,热偶真空规管的输出端接入所述测温仪表的输入端,测温仪表的输出端连接至所述电源控制卡的输入端,从而控制电源控制卡的输出。
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