[实用新型]一种可外调节磁场的磁控溅射靶有效
| 申请号： | 201520470579.8 | 申请日： | 2015-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN204849010U | 公开（公告）日： | 2015-12-09 |
| 发明（设计）人： | 彭林;刘敏;金云华;李抚龙 | 申请（专利权）人： | 爱蓝天高新技术材料（大连）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 116000 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 一种可外调节磁场的磁控溅射靶，属于磁控溅射镀膜领域，主要包括靶体和导磁体，以及在靶体内部设有可调轴和压套，通过O型密封圈进行密封设计，减少了以往因为磁场强度不均匀需要调节的反复拆装问题，通过结构设计，可以不必拆装就能进行磁场强度大小的调节，减少了人工的同时，也降低了劳动强度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 外调 磁场 磁控溅射 | ||
【主权项】：
一种可外调节磁场的磁控溅射靶，主要包括靶体（1）和导磁体（2），其特征在于，所述的靶体（1）下端设有通孔（3），在靶体（1）内设有调节轴（4），调节轴（4）的下端位于通孔（3）内，锁紧螺母（5）通过压套Ⅲ（6）安装在通孔（3）内且与调节轴（4）的下端固定，所述的调节轴（4）上设有压套Ⅰ（7）和压套Ⅱ（8），压套Ⅰ（7）和压套Ⅱ（8）之间设有O型密封圈（9）且压套Ⅰ（7）位于压套Ⅱ（8）的上方，压套Ⅰ（7）通过螺栓（11）固定在靶体（1）内，压套Ⅰ（7）与靶体（1）之间设有O型密封圈（9），导磁体（2）通过可调支撑板（10）安装在调节轴（4）上，所述的导磁体（2）通过螺柱（12）安装在所述的可调支撑板（10）上并且通过螺母（13）将其固定。
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