[实用新型]一种吸取硅晶片的真空管路用气液分离器

摘要

一种吸取硅晶片的真空管路用气液分离器，储液筒上部用密封盖密封，密封盖上设置有进气管道和出气管道，进气管道的上端通过软管与真空吸笔或真空吸盘链接，下端通过导液管道深入储液筒内的中上部位置，出气管道的上端通过软管与真空管道连通，下端与储液筒内的顶部连通。本实用新型中，通过在真空吸盘和真空管道之间加设由密封盖密封的储液筒，使得水和脏物会随着进气管道和导液管道被吸至储液筒内，而出气管道连接的系统真空管道内将不会再有水和脏物，即可实现气液分离的效果，避免了水和脏污进入到真空管道内进而堵塞真空管道，具有结构简单、清洗简便、成本低、稳定可靠等的优点。

主权项

一种吸取硅晶片的真空管路用气液分离器，其特征在于：包括一圆筒形的储液筒（1），储液筒（1）上部用密封盖（3）密封，密封盖（3）上设置有进气管道（5）和出气管道（4），其中，进气管道（5）的上端通过软管与真空吸笔或真空吸盘链接，下端通过导液管道（6）深入储液筒（1）内的中上部位置，且沿导液管道（6）的长度方向上分布有若干通气孔（9），所述出气管道（4）的上端通过软管与真空管道连通，下端与储液筒（1）内的顶部连通。