[实用新型]一种用于夹持圆柱形单晶硅的固定夹盘

摘要

本实用新型提供了一种用于夹持圆柱形单晶硅的固定夹盘，包括夹盘本体、移动滑块、卡爪和固定基座，夹盘本体的径向方向上均匀开有四条夹口槽，夹口槽的中部交汇处开有圆形的夹口，夹口槽的对侧内壁上各设有一个滑轨，移动滑块上设有对应卡合滑轨的滑槽，卡爪固定在移动滑块上，夹口槽的最底端设有丝杠，移动滑块的底端设有对应齿合丝杠的外螺纹，固定基座包括连接块、定位块和定位杆，连接块的上端面固定连接夹盘本体，连接块的下端面固定连接定位块，定位块的底部开有定位卡口，定位块上设有贯穿定位卡口的定位杆。有益效果是夹盘的底部能够稳固定位在加工设备的固定座上，夹盘的上部能够夹紧圆柱形的单晶硅，省去使用化学粘胶的污染。

主权项

一种用于夹持圆柱形单晶硅的固定夹盘，其特征在于：包括夹盘本体、移动滑块、卡爪和固定基座，圆盘形的所述夹盘本体的上部圆面的径向方向上均匀开有四条夹口槽，所述夹盘本体在所述夹口槽的中部交汇处开有圆形的夹口，所述夹口槽的对侧内壁上各设有一个外凸的滑轨，所述移动滑块上设有对应卡合所述滑轨的滑槽，所述卡爪固定在所述移动滑块上，所述夹口槽的最底端设有沿所述夹盘本体径向走向的丝杠，所述移动滑块的底端设有对应齿合所述丝杠的外螺纹，所述固定基座包括连接块、定位块和定位杆，所述连接块的上端面固定连接在所述夹盘本体的下部圆面上，所述连接块的下端面固定连接有所述定位块，所述定位块的底部开有对应单晶硅加工设备固定座的定位卡口，所述定位块上设有贯穿所述定位卡口的所述定位杆。