[实用新型]一种离子栅门有效
申请号: | 201520490479.1 | 申请日: | 2015-07-08 |
公开(公告)号: | CN204760351U | 公开(公告)日: | 2015-11-11 |
发明(设计)人: | 沈国乃;王慧敏;李玉江;郝中原;张勇;陈长贵;张卫东 | 申请(专利权)人: | 北京市北分仪器技术有限责任公司 |
主分类号: | H01J49/06 | 分类号: | H01J49/06;H01J9/00 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 李相雨 |
地址: | 100095 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种离子栅门,该离子栅门包括:绝缘圆环支架、以及固定在所述绝缘圆环支架的侧面上的网栅电极;所述网栅电极包括:第一电极、第二电极、多个第一网栅丝条和多个第二网栅丝条,所述第一网栅丝条与所述第二网栅丝条间隔平行设置,所述第一网栅丝条的一端固定在所述第一电极上,另一端悬空且与所述第二电极的距离为预设第一距离;所述第二网栅丝条的一端固定在所述第二电极上,另一端悬空且与所述第一电极的距离为预设第二距离。该离子栅门结构简单,网栅电极平整,相邻网栅丝条的平行度较好且间距一致,提高了离子栅门的开关性能。 | ||
搜索关键词: | 一种 离子 栅门 | ||
【主权项】:
一种离子栅门,其特征在于,包括:绝缘圆环支架、以及固定在所述绝缘圆环支架的侧面上的网栅电极;所述网栅电极包括:第一电极、第二电极、多个第一网栅丝条和多个第二网栅丝条,所述第一网栅丝条与所述第二网栅丝条间隔平行设置,所述第一网栅丝条的一端固定在所述第一电极上,另一端悬空且与所述第二电极的距离为预设第一距离;所述第二网栅丝条的一端固定在所述第二电极上,另一端悬空且与所述第一电极的距离为预设第二距离。
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