[实用新型]三点支撑三点换位工件架有效
| 申请号： | 201520493199.6 | 申请日： | 2015-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN204779793U | 公开（公告）日： | 2015-11-18 |
| 发明（设计）人： | 慈连鳌 | 申请（专利权）人： | 沈阳腾鳌真空技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/35 |
| 代理公司： | 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234 | 代理人： | 张志伟 |
| 地址： | 110101 辽宁省沈*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种三点支撑三点换位工件架，包括自转电机、自转传动机构、三点换位电机以及换位机构，其中自转电机的输出端经自转传动机构与工件架传动连接，三点换位电机驱动换位机构转动换位；换位机构包括三点换位升降滚珠丝杆、升降盘、导向机构、支撑柱、固定盘以及换位支杆，其中换位升降滚珠丝杆的底端通过底脚固定于安装底盘上，顶端与升降盘抵接，导向机构竖直设置，穿置于升降盘中，升降盘上布置多个用于安装支撑点固定盘的支撑柱，安装支撑点固定盘上设置三个换位支杆。本实用新型针可实现一次成膜，不需要多次镀膜，提高工作效率的同时避免了多次镀膜对膜表面的损伤，提高了样品镀膜合格率，间接保护了操作人员，避免造成人身损害。 | ||
| 搜索关键词： | 支撑 换位 工件 | ||
【主权项】：
一种三点支撑三点换位工件架，其特征在于：包括自转电机、自转传动机构、三点换位电机以及换位机构，其中自转电机的输出端经自转传动机构与工件架传动连接，三点换位电机驱动换位机构转动换位。
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