[实用新型]玻璃基板用存储装置有效
| 申请号： | 201520504135.1 | 申请日： | 2015-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN204905226U | 公开（公告）日： | 2015-12-23 |
| 发明（设计）人： | 周学文;李伟;颜春李;徐根;张诚;李翼;宋小光 | 申请（专利权）人： | 湖南普照信息材料有限公司;湖南电子信息产业集团有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L21/677 |
| 代理公司： | 长沙智嵘专利代理事务所 43211 | 代理人： | 黄子平 |
| 地址： | 410205 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种玻璃基板用存储装置，包括可移动的储存箱，储存箱内设有顶部开口的、用于存储玻璃基板的储存腔，储存箱上设有与储存腔连通以将储存腔内盛装的用于清洗玻璃基板的清洗液向外排出的排液口；储存腔内设有至少一组用于卡持玻璃基板的卡持件，每组卡持件包括两块相对设置的卡板，两块卡板的相对的面上各设有多条供玻璃基板的相对的两条侧边分别插入的第一卡槽。本实用新型的玻璃基板用存储装置方便移动，不会与储存箱发生碰撞，便于注水、排水、储水及卫生处理，不会存在不同型号的基板的交叉污染问题。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃 基板用 存储 装置 | ||
【主权项】：
一种玻璃基板用存储装置，其特征在于，包括可移动的储存箱(1)，所述储存箱(1)内设有顶部开口的、用于存储玻璃基板的储存腔(101)，所述储存箱(1)上设有与所述储存腔(101)连通以将所述储存腔(101)内盛装的用于清洗所述玻璃基板的清洗液向外排出的排液口(102)；所述储存腔(101)内设有至少一组用于卡持所述玻璃基板的卡持件，每组所述卡持件包括两块相对设置的卡板(2)，两块所述卡板(2)的相对的面上各设有多条供所述玻璃基板的相对的两条侧边分别插入以固定的第一卡槽(201)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
