[实用新型]一种周期性碗状结构模板有效
| 申请号： | 201520510415.3 | 申请日： | 2015-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN204999607U | 公开（公告）日： | 2016-01-27 |
| 发明（设计）人： | 李海鸥;徐文俊;李思敏;李琦;首照宇;高喜;肖功利 | 申请（专利权）人： | 桂林电子科技大学 |
| 主分类号： | B81B7/04 | 分类号： | B81B7/04 |
| 代理公司： | 桂林市持衡专利商标事务所有限公司 45107 | 代理人： | 陈跃琳 |
| 地址： | 541004 广*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种周期性碗状结构模板，包括基底1和位于基底1上方的二氧化硅2，二氧化硅2上部形成多个碗状的金属孔3，且这些金属孔3在二氧化硅2上部呈周期性排布。上述金属孔3呈十字排布、六方排布及其他周期性排布，其周期范围为10纳米～10微米。本实用新型制备的周期性碗状模板面积大，结构均匀完整，在制备图形衬底、光子晶体、表面粗化、表面制绒和微纳米器件等方面有很好的应用前景，能广泛应用于LED、太阳能电池、光子晶体、量子器件等方面，或作为基底材料的刻蚀掩膜层，用于其它微纳米结构的制造。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 周期性 结构 模板 | ||
【主权项】：
一种周期性碗状结构模板，包括基底(1)和位于基底(1)上方的二氧化硅(2)，其特征是，二氧化硅(2)上部形成多个碗状的金属孔(3)，且这些金属孔(3)在二氧化硅(2)上部呈周期性排布。
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