[实用新型]一种光刻胶喷胶装置

摘要

本实用新型提供一种光刻胶喷胶装置，包括接收装置、过滤装置、排泡装置、光刻胶储存装置、光刻胶瓶及传输管道，所述接收装置通过传输管道依次连接所述过滤装置、排泡装置、光刻胶储存装置以及光刻胶瓶，所述光刻胶瓶通过所述传输管道连接有光刻胶喷头，该光刻胶喷头插入连接到所述接收装置里，与其形成密闭结构，然后进行空喷动作，空喷出的光刻胶经过过滤、排泡处理后被回收利用。本实用新型不仅解决了光刻胶喷头内残留的光刻胶在不涂布时与空气接触产生结晶的问题，对空喷出的光刻胶进行回收处理还提高了光刻胶的纯净度，使其更加适用于工业生产，同时避免了光刻胶的浪费，减少了生产成本。

主权项

一种光刻胶喷胶装置，其特征在于，包括：接收装置、过滤装置、排泡装置、光刻胶储存装置、光刻胶瓶及传输管道，所述接收装置通过所述传输管道依次连接所述过滤装置、所述排泡装置、所述光刻胶储存装置以及所述光刻胶瓶，所述光刻胶瓶通过所述传输管道连接有光刻胶喷头，该光刻胶喷头插入连接到所述接收装置里，并以若干时间间隔进行若干次空喷胶动作，喷出的光刻胶被输送到所述光刻胶瓶后供所述光刻胶喷头利用；喷胶作业时所述光刻胶喷头从所述接收装置拔出。