[实用新型]一种采用高压水处理抛光布表面的装置有效
| 申请号： | 201520515600.1 | 申请日： | 2015-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN204736114U | 公开（公告）日： | 2015-11-04 |
| 发明（设计）人： | 牛海涛;范强;王勇;魏海霞 | 申请（专利权）人： | 麦斯克电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B24D18/00 | 分类号： | B24D18/00;B08B3/02 |
| 代理公司： | 洛阳明律专利代理事务所 41118 | 代理人： | 卢洪方 |
| 地址： | 471000 河南省洛*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 一种采用高压水处理抛光布表面的装置，适用于单晶硅抛光片生产中，对抛光布进行表面预处理。本实用新型中的柱塞泵（3）将纯水管路（1）中的纯水施加压力后进入高压供纯水供给装置（4）并经高压纯水管（5）将高压纯水通过喷头（8）喷射到需处理的抛光布上。喷头（8）安装在抛光机主转盘（10）边部的摆臂（7）上，可随抛光机主转盘（10）自抛光机大盘边缘到中心轮附近再回到抛光机主转盘（10）边缘，完成一个摆动周期。刷子（9）与抛光布表面在工作中并不接触，没有相互摩擦，不对抛光布造成损伤。本实用新型提高了抛光布的使用寿命，降低了生产成本，减轻了劳动强度，提高了工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 采用 高压 水处理 抛光 表面 装置 | ||
【主权项】：
一种采用高压水处理抛光布表面的装置，其特征是：所述的一种采用高压水处理抛光布表面的装置，主要由柱塞泵（3）、高压纯水供给装置（4）、高压纯水管（5）、驱动电机（6）、摆臂（7）、喷头（8）、刷子（9）、构成；其中柱塞泵（3）安装在工厂系统纯水管路（1）上，并与工厂系统的压缩空气管路（2）连接；高压纯水供给装置（4）通过管路与柱塞泵（3）连接在一起；喷头（8）和刷子（9）都装在抛光机主转盘（10）边部摆臂（7）的同一端，喷头（8）安装在刷子（9）的中间位置；驱动电机（6）安装在摆臂（7）的另一端；高压纯水管（5）一端接在高压纯水供给装置（4）上，另一端穿过摆臂（7）与喷头（8）连接。
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