[实用新型]一种准分子激光器的光谱控制装置

摘要

本实用新型是关于一种应用于主振荡功率放大双腔结构的准分子激光器的光谱控制装置,其包括两级线宽压窄模块,其中第一级线宽压窄模块与输出耦合装置作为两个端镜分别设置于激光放电腔的两端,并与输出耦合装置及激光放电腔构成准分子激光器的主振荡谐振腔,形成具有一定输出能量及第一级线宽压窄的激光输出；第二级线宽压窄模块设置于准分子激光器的主振荡谐振腔与能量放大腔之间的传输光路中,对主振荡谐振腔输出的具有一定输出能量及第一级线宽压窄的激光进行线宽调制形成具有第二级线宽压窄的激光输出。本实用新型可以有效解决现有单一光谱控制装置光谱控制自由度低、光谱调谐难度大、光谱调谐灵活性差、光学元件损伤几率较高等问题。

主权项

一种准分子激光器的光谱控制装置，应用于主振荡功率放大双腔结构准分子激光器，其特征在于其包括：第一级线宽压窄模块，其与输出耦合装置作为两个端镜分别设置于第一激光放电腔的两端，并与所述输出耦合装置及所述第一激光放电腔构成所述主振荡功率放大双腔结构准分子激光器的主振荡谐振腔，形成具有一定输出能量及第一级线宽压窄的激光输出；以及第二级线宽压窄模块，其设置于所述主振荡谐振腔与所述主振荡功率放大双腔结构准分子激光器的能量放大腔之间的传输光路中，对所述主振荡谐振腔输出的具有一定输出能量及第一级线宽压窄的激光进行线宽调制形成具有第二级线宽压窄的激光输出。