[实用新型]一种用于物理气相沉积镀膜的基片自动装卸系统有效
| 申请号： | 201520524548.6 | 申请日： | 2015-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN205045491U | 公开（公告）日： | 2016-02-24 |
| 发明（设计）人： | 刘江;王洋 | 申请（专利权）人： | 惠州易晖能源科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06;B65G47/91 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 蒋剑明 |
| 地址： | 516006 广东省惠州市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于物理气相沉积镀膜的基片自动装卸系统，包括依次设置的上料台、装片过渡台、基片架、PVD上料段及PVD镀膜段，基片架设置在装片过渡台上，上料台与装片过渡台之间设有用于吸取玻璃衬底并放置在基片架内的吸盘夹具、吸盘夹具连接有第一机器人；基片架与PVD上料段之间设有用于搬运基片架的夹爪夹具，夹爪夹具连接有第二机器人。本实用新型通过机器人与夹爪夹具连接，夹爪夹具对基片架进行搬运取代了目前常用的机器人通过吸盘对玻璃衬底镀膜面进行搬运的方式，并且对玻璃衬底镀膜面无影响、不受玻璃变形影响；通过机器人吸盘夹具吸住衬底背面搬运衬底进行基片架的上下片避免了吸盘等对衬底镀膜面的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 物理 沉积 镀膜 自动 装卸 系统 | ||
【主权项】：
一种用于物理气相沉积镀膜的基片自动装卸系统，其特征在于：包括依次设置的用于放置玻璃衬底的上料台、装片过渡台、基片架、PVD上料段及PVD镀膜段，所述基片架设置在装片过渡台上，所述上料台与装片过渡台之间设有用于吸取玻璃衬底并放置在基片架内的吸盘夹具、所述吸盘夹具连接有第一机器人；所述基片架与PVD上料段之间设有用于搬运基片架的夹爪夹具，所述夹爪夹具连接有第二机器人。
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