[实用新型]一种线切割断线后硅片冲洗和吹干装置

摘要

本实用新型公开一种线切割断线后硅片冲洗和吹干装置，包括固定架、设置在固定架上的注入管以及“山”字形管架，所述注入管上设有开关阀门，注入管的输入端设有用于连接冲洗水源或气源的快速接头，注入管上还设有用于与固定架连接的固定套管，固定套管通过锁紧螺母进行固定，所述“山”字形管架包括一个横管和三个支管，“山”字形管架设置在注入管顶部并通过横管与注入管连通，“山”字形管架中相邻的两个支管的相对侧壁上均匀分布有侧孔，且每个侧孔上均安装有雾状喷嘴。本实用新型能够准确有效将断线后硅片线缝里的砂浆和悬浮液冲洗干净，准确、省时、省力的完成韧线工作，保证硅片不会被洗碎和吹碎。

主权项

一种线切割断线后硅片冲洗和吹干装置，其特征在于：包括固定架、设置在固定架上的注入管（2）以及“山”字形管架（3），所述注入管（2）上设有开关阀门（4），注入管（2）的输入端设有用于连接冲洗水源或气源的快速接头（5），注入管（2）上还设有用于与固定架连接的固定套管（6），固定套管（6）通过锁紧螺母（7）进行固定，所述“山”字形管架（3）包括一个横管和三个支管，“山”字形管架（3）设置在注入管（2）顶部并通过横管与注入管（2）连通，“山”字形管架（3）中相邻的两个支管的相对侧壁上均匀分布有侧孔，且每个侧孔上均安装有雾状喷嘴（1）。