[实用新型]一种柔性薄膜场效应晶体管曲率测量传感器

摘要

一种柔性薄膜场效应晶体管曲率测量传感器，包括有用于与被测曲率曲面进行贴合的塑料衬底，所述塑料衬底上通过材料粘合层分别设置有传感器控制端、传感器的正极、栅极金属电极和传感器负极，所述的栅极金属电极上覆盖有绝缘介质层，所述的绝缘介质层上设置有单晶硅薄膜，所述单晶硅薄膜上分别设置有源极金属电极和漏极金属电极，其中，所述的栅极金属电极通过互联金属连接所述传感器控制端，所述源极金属电极通过互联金属连接所述传感器的正极，所述漏极金属电极通过互联金属连接所述传感器负极。本实用新型的传感器构成简单，有效降低了成本，并且操作便捷，传感器器件可随塑料衬底在待测器件表面连续移动，实现曲面表面变化曲率的实时测量。

主权项

一种柔性薄膜场效应晶体管曲率测量传感器，包括有用于与被测曲率曲面进行贴合的塑料衬底(1)，其特征在于，所述塑料衬底(1)上通过材料粘合层(2)分别设置有传感器控制端(10)、传感器的正极(8)、栅极金属电极(4)和传感器负极(9)，所述的栅极金属电极(4)上覆盖有绝缘介质层(7)，所述的绝缘介质层(7)上设置有单晶硅薄膜(6)，所述单晶硅薄膜(6)上分别设置有源极金属电极(3)和漏极金属电极(5)，其中，所述的栅极金属电极(4)通过互联金属(11)连接所述传感器控制端(10)，所述源极金属电极(3)通过互联金属(11)连接所述传感器的正极(8)，所述漏极金属电极(5)通过互联金属(11)连接所述传感器负极(9)。