[实用新型]晶圆取片器

摘要

本实用新型提供了一种晶圆取片器。晶圆取片器包括：手柄，手柄为中空结构，在手柄上设有泄压阀，泄压阀用于对手柄内部进行泄压；真空发生器，真空发生器连接手柄的尾端；双叉支架，双叉支架包括连接臂、第一叉臂和第二叉臂，连接臂固定在手柄的前端，第一叉臂和第二叉臂分别固定在连接臂的两端；吸盘，吸盘通过弹性气管连接手柄的前端，且吸盘位于第一叉臂和第二叉臂之间，吸盘的吸附面略高于第一叉臂和第二叉臂的上表面。通过上述方式，本实用新型能够方便、安全地取放晶圆。

主权项

一种晶圆取片器，其特征在于，包括：手柄，所述手柄为中空结构，在所述手柄上设有泄压阀，所述泄压阀用于对手柄内部进行泄压；真空发生器，所述真空发生器连接所述手柄的尾端；双叉支架，所述双叉支架包括连接臂、第一叉臂和第二叉臂，所述连接臂固定在所述手柄的前端，所述第一叉臂和所述第二叉臂分别固定在所述连接臂的两端；吸盘，所述吸盘通过弹性气管连接所述手柄的前端，且所述吸盘位于所述第一叉臂和所述第二叉臂之间，所述吸盘的吸附面略高于所述第一叉臂和所述第二叉臂的上表面。