[实用新型]一种真空阴极的旋转屏蔽筒有效
申请号: | 201520539035.2 | 申请日: | 2015-07-23 |
公开(公告)号: | CN205062164U | 公开(公告)日: | 2016-03-02 |
发明(设计)人: | 王叔晖;孟庆学 | 申请(专利权)人: | 上海法德机械设备有限公司 |
主分类号: | C23C14/00 | 分类号: | C23C14/00 |
代理公司: | 上海集信知识产权代理有限公司 31254 | 代理人: | 唐海波 |
地址: | 201616 上海市松江区小昆山*** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本实用新型提供了一种真空阴极的旋转屏蔽筒,屏蔽筒位于一真空腔室内,真空腔室的顶部设置有上盖板,真空腔室的底部设置有下盖板,屏蔽筒顶部设置有一阴极电极,且阴极电极的一端凸出设于上盖板之上;屏蔽筒顶部具有一座体,座体固定在上盖板底部,座体侧面自上而下依次设置有上压环、中间压环和下压环,上压环和中间压环之间、中间压环和下压环之间均设置有凹槽,凹槽内放置有若干钢珠。本实用新型提供的旋转屏蔽筒d上压环的底部、中间压环的顶部和底部以及下压环的顶部均设置有位置相对应的半圆形的凹槽,通过在这些凹槽内放置钢珠,利用这些钢珠来代替传统的轴承转动,可以有效的避免真空高温环境下使用轴承易卡死变形,使用性能稳定可靠。 | ||
搜索关键词: | 一种 真空 阴极 旋转 屏蔽 | ||
【主权项】:
一种真空阴极的旋转屏蔽筒,其特征在于,所述屏蔽筒位于一真空腔室内,所述真空腔室的顶部设置有上盖板,所述真空腔室的底部设置有下盖板,所述屏蔽筒顶部设置有一阴极电极,且所述阴极电极的一端凸出设于所述上盖板之上;所述屏蔽筒顶部具有一座体,所述座体固定在所述上盖板底部,所述座体侧面自上而下依次设置有上压环、中间压环和下压环,所述上压环和中间压环之间、所述中间压环和所述下压环之间均设置有凹槽,所述凹槽内放置有若干钢珠。
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