[实用新型]化学机械抛光装置的承载头的隔膜有效
| 申请号： | 201520543473.6 | 申请日： | 2015-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN204954603U | 公开（公告）日： | 2016-01-13 |
| 发明（设计）人： | 赵玟技;孙准皓 | 申请（专利权）人： | K.C.科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 姜虎;陈英俊 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本实用新型涉及化学机械抛光装置用承载头的隔膜，包括：底板，对晶片的板面进行施压；侧面，从底板的边缘向上侧折弯而成；以及固定片，包括多个垂直延伸部和水平延伸部，上述多个垂直延伸部在上述侧面和上述底板的中心之间以环形向上延伸而成，上述水平延伸部从多个垂直延伸部的上端部水平延伸，上述水平延伸部与承载头的本体部相结合，并在上述底板和上述本体部之间形成多个压力腔室，水平延伸部从底板的中心越远则形成得越长，其以变得更长的水平延伸部的变低的上下方向的弯曲位移来收容由于水平延伸部和垂直延伸部之间的连接部的圆周方向的周长变长而变高的弯曲刚性，从而可分别减少每个固定片与隔膜底板相连接的部分的应力变动幅度。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 机械抛光 装置 承载 隔膜 | ||
【主权项】：
一种化学机械抛光装置的承载头的隔膜，其特征在于，包括：底板，对晶片的板面进行施压；侧面，从上述底板的边缘向上侧折弯而成；以及固定片，包括多个垂直延伸部和水平延伸部，上述多个垂直延伸部在上述侧面和上述底板的中心之间以环形向上延伸而成，上述水平延伸部从上述多个垂直延伸部的上端部水平延伸，上述水平延伸部与上述承载头的本体部相结合，在上述底板和上述本体部之间形成多个压力腔室，上述水平延伸部从上述底板的中心越远则形成得越长。
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