[实用新型]一种硅片分离风刀

摘要

本实用新型涉及一种硅片分离风刀，包括截面为方形的基座、铰接在基座底部的“∩”形卡爪、设置于基座上的风刀管，基座前后侧面设有放置孔，风刀管通过放置孔穿过基座，风刀管露出基座前面一端逐渐收缩至扁平化，即风刀管前端为条形风口；风刀管露出基座后面的一端设有管接头，基座上、下两个面设有压紧孔，压紧孔内配合压紧螺栓，压紧螺栓端面压在风刀管外表面；“∩”形卡爪与基座铰接处设有压紧螺母。本实用新型在基座底部铰接“∩”形卡爪，便于安装在硅片承载盒上且沿硅片承载盒边框滑动吹散不同位置的硅片，同时便于调节条形风口俯仰位置，吹散不同尺寸的硅片；上下两个压紧螺栓便于固定风导管，调节条形风口的转角。

主权项

一种硅片分离风刀，其特征在于，包括截面为方形的基座、铰接在所述基座底部的“∩”形卡爪、设置于所述基座上的风刀管，所述基座前后侧面设有放置孔，所述风刀管通过所述放置孔穿过所述基座，所述风刀管露出所述基座前面一端逐渐收缩至扁平化，即所述风刀管前端为条形风口；所述风刀管露出基座后面的一端设有管接头，所述基座上、下两个面设有压紧孔，所述压紧孔内配合压紧螺栓，所述压紧螺栓端面压在所述风刀管外表面；所述“∩”形卡爪与所述基座铰接处设有压紧螺母。