[实用新型]一种磁控等离子体微孔涂层装置

摘要

一种磁控等离子体微孔涂层装置，包括真空室、进气筛、出气筛、样品台、工件、磁控环和加热丝；其中出气筛与进气筛相对设置；样品台位于进气筛与出气筛之间；磁控环与工件位于样品台上；工件具有狭长的中孔结构，并放置在磁控环内部；加热丝与工件的中孔对应位置设置为环状线圈结构；通过环状线圈结构的加热丝、磁控环的磁力吸引作用以及样品台的气流通道等多种技术手段实现对气流的合理控制，从而顺利地将等离子体导入狭长的内孔中，实现对微小孔径、较大孔深的工件内孔表面涂层加工。

主权项

一种磁控等离子体微孔涂层装置，包括真空室(1)，其特征在于：进气筛(2)、出气筛(7)、样品台(6)、工件(5)、磁控环(4)和加热丝(3)位于真空室(1)内；其中出气筛(7)与进气筛(2)相对设置；样品台(6)位于进气筛(2)与出气筛(7)之间；磁控环(4)与工件(5)位于样品台(6)上；工件(5)具有中孔(9)结构，并放置在磁控环(4)内部；加热丝(3)与工件(5)的中孔对应位置设置为环状线圈结构。