[实用新型]晶圆盒

摘要

一种晶圆盒，包括一盒体、一盖体及至少一定位机构。盒体具有一底壁及一位于底壁上的晶圆容置区。盖体具有一与该底壁相对的顶壁。定位机构包括一设于盒体的活动挡墙及一设于盖体的抵推臂。活动挡墙沿晶圆容置区的周缘直立设置且具有两个与底壁固定连接的固定端部及一连接于两个固定端部之间的活动部，活动部具有一朝向晶圆容置区的接触面及一相反于接触面的受推面。抵推臂由盖体的顶壁向下延伸形成并具有至少一顶抵部，在盖体盖合于盒体时，抵推臂的顶抵部抵于活动部的受推面，并使活动部往晶圆容置区内移动以将置于晶圆容置区内的晶圆定位。

主权项

一种晶圆盒，包括：一盒体，具有一底壁及一位于该底壁上的晶圆容置区，该晶圆容置区用以容置多片晶圆；一盖体，可分离地与该盒体相盖合并共同界定一包括该晶圆容置区的容室，且具有一与该底壁相对的顶壁；及至少一定位机构，该定位机构包括一设于该盒体的活动挡墙及一设于该盖体的抵推臂，该活动挡墙沿该晶圆容置区的周缘直立设置且具有两个与该底壁固定连接的固定端部及一连接于该两个固定端部之间的活动部，该活动部具有一朝向该晶圆容置区的接触面及一相反于该接触面的受推面，该抵推臂由该盖体的顶壁向下延伸形成并具有至少一顶抵部，在该盖体盖合于该盒体时，该抵推臂的顶抵部抵于该活动部的受推面，并使该活动部往该晶圆容置区内移动以将置于该晶圆容置区内的晶圆定位。