[实用新型]一种接触式平行板三维力压力传感器有效
申请号: | 201520560274.6 | 申请日: | 2015-07-28 |
公开(公告)号: | CN204758191U | 公开(公告)日: | 2015-11-11 |
发明(设计)人: | 王军;李小牛;端黎民 | 申请(专利权)人: | 芜湖科创生产力促进中心有限责任公司 |
主分类号: | G01L5/16 | 分类号: | G01L5/16;G01L1/14 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 241000 安徽省芜湖市鸠江区北*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种接触式平行板三维力压力传感器,所述传感器包括控制单元、与控制器分别连接的X方向电容单元组和Y方向电容单元组,所述X方向电容单元组和Y方向电容单元组均包括两个以上电容单元模块,所述电容单元模块采用由两个以上的条状电容单元组成的梳齿状结构,每个条状电容单元包括上极板的驱动电极和下极板的感应电极。 | ||
搜索关键词: | 一种 接触 平行 三维 压力传感器 | ||
【主权项】:
一种接触式平行板三维力压力传感器,其特征在于,所述传感器包括控制单元、与控制单元分别连接的X方向电容单元组和Y方向电容单元组,所述X方向电容单元组和Y方向电容单元组均包括电容单元模块,所述电容单元模块采用由两个以上的条状电容单元组成的梳齿状结构,每个条状电容单元包括上极板的驱动电极和下极板的感应电极。
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