[实用新型]气体盲端管道

摘要

气体盲端管道，该盲端管道用于插入到与氨气发生等离子体化学气相沉积反应的反应腔中，该盲端管道包括气体管体，所述气体管体的末端焊接固定有密封的金属堵头，所述气体管体位于反应腔内部的部分设置有若干个排气孔，所述所有排气孔均朝向反应腔顶部方向，气体管体中通有硅烷气体，硅烷气体穿过排气孔进入到反应腔中。本实用新型通过焊接固定金属堵头在气体管体的末端形成管道盲端，通过焊接，金属堵头与气体管体密封性能好，且不会在使用过程中产生松动，在盲端表面的镀层能够始终保持完整，不会因出现裂痕。

主权项

气体盲端管道，该盲端管道用于水平插入到与氨气发生等离子体化学气相沉积反应的反应腔中，其特征是该盲端管道包括气体管体，所述气体管体的末端焊接固定有密封的金属堵头，所述气体管体位于反应腔内部的部分设置有若干个排气孔，若干个所述排气孔均朝向反应腔顶部方向，气体管体中通有硅烷气体或氨气，硅烷气体或氨气穿过排气孔进入到反应腔中。