[实用新型]一种PE自动化上料校正夹具有效
| 申请号： | 201520575963.4 | 申请日： | 2015-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN204966476U | 公开（公告）日： | 2016-01-13 |
| 发明（设计）人： | 陈桂宝;唐磊;何晨旭;朱姚培 | 申请（专利权）人： | 江苏荣马新能源有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/687 | 分类号： | H01L21/687;H01L31/18 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 张惠忠 |
| 地址： | 223700 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种PE自动化上料校正夹具，所包括底座安装架、推送装置和夹紧装置；夹紧装置设置在推送装置内，推送装置固定在底座安装架上，硅片通过夹紧装置夹紧后由推送装置进行推送；夹紧装置包括多个夹紧组，夹紧组包括承载板、夹紧爪，所述承载板用于放置硅片，夹紧爪用于夹紧硅片；夹紧爪包括第一连接部件、第二连接部件以及连接在两个连接部件之间的弯曲部，弯曲部与第一连接部件、第二连接部件之间通过圆弧过渡连接；硅片的一侧与夹紧爪的变形部相接触，且其与弯曲部之间设有海绵，本实用新型使得硅片边缘崩边情况减少，不影响生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 pe 自动化 校正 夹具 | ||
【主权项】：
一种PE自动化上料校正夹具，所述PE自动化上料校正夹具包括底座安装架、推送装置和夹紧装置；所述夹紧装置设置在推送装置内，所述推送装置固定在底座安装架上，所述硅片通过夹紧装置夹紧后由推送装置进行推送；其特征在于：所述夹紧装置包括多个夹紧组，所述夹紧组包括承载板、夹紧爪，所述承载板用于放置硅片，所述夹紧爪用于夹紧硅片；所述夹紧爪包括第一连接部件、第二连接部件以及连接在两个连接部件之间的弯曲部，所述弯曲部与第一连接部件、第二连接部件之间通过圆弧过渡连接；所述硅片的一侧与夹紧爪的变形部相接触，且其与弯曲部之间设有海绵。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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