[实用新型]一种特气管路

摘要

本实用新型涉及化学气相沉积技术领域，具体公开了一种特气管路，包括特气管道和特气孔，所述特气管道的侧壁上设有带内螺纹的口，所述特气孔为设有通孔的螺栓，所述通孔沿螺栓柱轴心贯穿螺栓，所述特气孔通过螺纹连接在特气管道的侧壁口上，用于输出特气，其特征在于：还包括不设有通孔的盲堵螺栓，所述盲堵螺栓通过螺纹连接在特气管道的侧壁口上，用于阻止特气输出。特气孔螺栓的螺纹为圆锥螺纹。本实用新型能够解决因清理特气孔堵塞而导致特气管路破损的问题，特气孔清理方便，维修简单；同时还能根据生产工艺需要有目的性的改变调节气体分布。

主权项

一种特气管路，包括特气管道（1）和特气孔（2），所述特气管道（1）的侧壁上设有带内螺纹的口，所述特气孔（2）为设有通孔的螺栓，所述通孔沿螺栓柱轴心贯穿螺栓，所述特气孔（2）通过螺纹连接在特气管道（1）的侧壁口上，用于输出特气，其特征在于：还包括不设有通孔的盲堵螺栓（3），所述盲堵螺栓（3）通过螺纹连接在特气管道（1）的侧壁口上，用于阻止特气输出。