[实用新型]一种备件清洗装置有效
| 申请号： | 201520579318.X | 申请日： | 2015-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN204842350U | 公开（公告）日： | 2015-12-09 |
| 发明（设计）人： | 张飞;郭晃亨;林兓兓;张家宏 | 申请（专利权）人： | 安徽三安光电有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B3/10 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 241000 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 一种备件清洗装置，用于气相沉积设备中石英备件的清洗，包括：清洗槽、备件置放治具、气泡产生装置；其中，所述清洗槽用于盛放清洗液体及所述备件置放治具；所述备件置放治具包含有上、下支架，所述下支架活动连接于治具底面，于水平方向调节所述治具容纳备件的宽度；所述上支架活动连接于治具本体中部位置，于垂直方向调节所述治具容纳备件的高度，用以置放不同体积及形状的备件；所述气泡产生装置包括气泡发生器、气体流通管路。本实用新型可减少备件清洗过程中备件的损坏，以及降低对清洗装置使用的浪费。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 备件 清洗 装置 | ||
【主权项】：
一种备件清洗装置，其特征在于，用于气相沉积设备中石英备件的清洗，包括：备件置放治具、位于所述备件置放治具底部的气泡产生装置，以及盛放清洗液体和所述备件置放治具的清洗槽；其中，所述备件置放治具为非封闭框架结构，包含有上、下支架，所述下支架活动连接于治具底面，于水平方向调节所述治具容纳备件的宽度；所述上支架活动连接于治具中部位置，于垂直方向调节所述治具容纳备件的高度，用以置放不同体积及形状的备件，其中，所述气泡产生装置包括气泡发生器及与所述气泡发生器连接的气体流通管路。
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