[实用新型]环保型硅片清洗装置有效

专利信息
申请号: 201520583750.6 申请日: 2015-08-05
公开(公告)号: CN204953432U 公开(公告)日: 2016-01-13
发明(设计)人: 何晨旭;孔祥照;朱洁;朱姚培 申请(专利权)人: 江苏荣马新能源有限公司
主分类号: B08B3/10 分类号: B08B3/10;B08B3/12;B08B3/14;B08B13/00
代理公司: 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 代理人: 张惠忠
地址: 223700 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型涉及一种环保型硅片清洗装置,包括支架、清洗槽、表面开有孔洞的转筒,清洗槽设置在支架上,清洗槽内设有转筒,清洗槽下方设有电机,电机输出端连接转轴,转轴延伸至清洗槽内,转轴与转筒连接,所述转筒内壁上设有若干个硅片存放装置,所述清洗槽上端设有进水管,清洗槽内设有温度传感器、加热装置、超声波发生器,清洗槽外侧设有控制器,温度传感器、加热装置分别与控制器连接,所述清洗槽底部连接出水管,出水管下端连接净化装置,净化装置下端连接排水管,本实用新型解决了清洗装置清洗效果不好、清洗后甩干操作不方便和清洗液直接排放污染环境的问题。
搜索关键词: 环保 硅片 清洗 装置
【主权项】:
一种环保型硅片清洗装置,其特征在于:包括支架、清洗槽、表面开有孔洞的转筒,清洗槽设置在支架上,清洗槽内设有转筒,清洗槽下方设有电机,电机输出端连接转轴,转轴延伸至清洗槽内,转轴与转筒连接,所述转筒内壁上设有若干个硅片存放装置,所述清洗槽上端设有进水管,清洗槽内设有温度传感器、加热装置、超声波发生器,清洗槽外侧设有控制器,温度传感器、加热装置分别与控制器连接,所述清洗槽底部连接出水管,出水管下端连接净化装置,净化装置下端连接排水管。
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