[实用新型]用于生产大尺寸合成石英玻璃锭的立式沉积炉

摘要

本实用新型涉及一种立式沉积炉，具体涉及一种用于生产大尺寸合成石英玻璃锭的立式沉积炉。该立式沉积炉包括沉积炉体、炉膛和烟囱，炉膛外围的沉积炉体上设置有环形烟道，环形烟道与炉膛之间的沉积炉体上呈十字交叉状设置有风道，环形烟道与炉膛之间通过风道连通。该立式沉积炉改善了二氧化硅沉积环境，并能充分利用热能，有效保持炉温，提高沉积效率。解决了现有炼熔炉在石英玻璃锭熔制过程产生的废气和废料不能及时均匀的排除炉外，致使石英玻璃锭的生长效率与生长周期低下，导致大规格、大重量的合成石英锭无法突破，同时也影响着石英玻璃锭产品质量的问题。特别适用于生产大尺寸合成石英玻璃锭使用。

主权项

用于生产大尺寸合成石英玻璃锭的立式沉积炉，包括沉积炉体（1）、炉膛（2）和烟囱（3），其特征在于：炉膛（2）外围的沉积炉体（1）上设置有环形烟道（4），环形烟道（4）与炉膛（2）之间的沉积炉体（1）上呈十字交叉状设置有风道（5），环形烟道（4）与炉膛（2）之间通过风道（5）连通，沉积炉体（1）的外侧设置有抽风管（6），抽风管（6）与环形烟道（4）连通，所述的抽风管（6）为U型体，抽风管（6）上安装有烟囱（3）。