[实用新型]一种用于单晶硅掺杂工艺的液相掺杂装置

摘要

一种用于单晶硅掺杂工艺的液相掺杂装置，适用于重掺锑单晶硅生产中的掺杂环节。本实用新型所述的一种液相掺杂工具由高纯石英制成，主要结构包括吊装杆、圆柱形外壁、漏斗形导流壁、导流管和锥形底面。其中吊装杆上端有吊装孔，吊装杆下端与锥形底面相连；外壁与锥形底面相连，形成一个凹腔，用于盛放掺杂元素；在锥形底面下端连接有漏斗形导流壁，漏斗形导流壁下端与导流管相连。

主权项

一种用于单晶硅掺杂工艺的液相掺杂装置，由上层的掺杂元素储存段和下层掺杂元素导流段组成，其特征在于：所述的掺杂元素储存段由吊装杆（1）、外壁（3）和中间高边缘低的锥形底面（8）组成，外壁（3）和锥形底面（8）连接围成用于放置掺杂元素（7）的凹腔（6），在凹腔（6）中间的锥形底面（8）上设有吊装杆（1），在锥形底面（8）上开设有多条导流缝（9），所述的掺杂元素导流段由漏斗形导流壁（4）和导流管（5）组成，漏斗形导流壁（4）的上端与外壁（3）底端连接，其下端与导流管（5）连接。