[实用新型]超声雾化热解喷涂反应室的抽尾气机构有效
申请号: | 201520614384.6 | 申请日: | 2015-08-14 |
公开(公告)号: | CN205008162U | 公开(公告)日: | 2016-02-03 |
发明(设计)人: | 龚恒翔;刘星 | 申请(专利权)人: | 重庆理工大学 |
主分类号: | B05B15/12 | 分类号: | B05B15/12 |
代理公司: | 重庆市前沿专利事务所(普通合伙) 50211 | 代理人: | 刘兴顺 |
地址: | 400054 *** | 国省代码: | 重庆;85 |
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摘要: | 本实用新型公开一种超声雾化热解喷涂反应室的抽尾气机构,反应室上部设有样品载台,样品载台可在驱动组件的带动下转动,且样品载台上方的反应室内设有热反射罩,样品载台外面罩有一个抽尾气罩,抽尾气罩上部竖直连接有尾气抽气管,样品载台处的高温尾气及时通过尾气抽气管排到反应室外,从而避免在样品载台处形成高温反应尾气层。本实用新型通过抽尾气罩罩住样品载台附近的高温反应尾气,防止高温反应尾气充满反应室的内腔,又由于高温反应尾气的密度比较小,这样就能自动通过尾气抽气管排到反应室外,从而避免在样品载台附近形成高温反应尾气层,这样不仅可以雾滴入射样品基体表面时的动量,利于薄膜的形成,而且能够有效防止高温反应尾气污染雾滴。 | ||
搜索关键词: | 超声 雾化 喷涂 反应 尾气 机构 | ||
【主权项】:
一种超声雾化热解喷涂反应室的抽尾气机构,在反应室(1)上部水平设有一个样品载台(2),该样品载台可在驱动组件的带动下转动,且样品载台(2)上方的反应室(1)内设有热反射罩(3),其特征在于:所述样品载台(2)外面罩有一个抽尾气罩(4),该抽尾气罩上部竖直连接有一根尾气抽气管(5),所述样品载台(2)处的高温尾气及时通过该尾气抽气管排到反应室(1)外,从而避免在样品载台(2)处形成高温反应尾气层。
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