[实用新型]超声雾化热解喷涂反应室的抽尾气机构有效

专利信息
申请号: 201520614384.6 申请日: 2015-08-14
公开(公告)号: CN205008162U 公开(公告)日: 2016-02-03
发明(设计)人: 龚恒翔;刘星 申请(专利权)人: 重庆理工大学
主分类号: B05B15/12 分类号: B05B15/12
代理公司: 重庆市前沿专利事务所(普通合伙) 50211 代理人: 刘兴顺
地址: 400054 *** 国省代码: 重庆;85
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摘要: 实用新型公开一种超声雾化热解喷涂反应室的抽尾气机构,反应室上部设有样品载台,样品载台可在驱动组件的带动下转动,且样品载台上方的反应室内设有热反射罩,样品载台外面罩有一个抽尾气罩,抽尾气罩上部竖直连接有尾气抽气管,样品载台处的高温尾气及时通过尾气抽气管排到反应室外,从而避免在样品载台处形成高温反应尾气层。本实用新型通过抽尾气罩罩住样品载台附近的高温反应尾气,防止高温反应尾气充满反应室的内腔,又由于高温反应尾气的密度比较小,这样就能自动通过尾气抽气管排到反应室外,从而避免在样品载台附近形成高温反应尾气层,这样不仅可以雾滴入射样品基体表面时的动量,利于薄膜的形成,而且能够有效防止高温反应尾气污染雾滴。
搜索关键词: 超声 雾化 喷涂 反应 尾气 机构
【主权项】:
一种超声雾化热解喷涂反应室的抽尾气机构,在反应室(1)上部水平设有一个样品载台(2),该样品载台可在驱动组件的带动下转动,且样品载台(2)上方的反应室(1)内设有热反射罩(3),其特征在于:所述样品载台(2)外面罩有一个抽尾气罩(4),该抽尾气罩上部竖直连接有一根尾气抽气管(5),所述样品载台(2)处的高温尾气及时通过该尾气抽气管排到反应室(1)外,从而避免在样品载台(2)处形成高温反应尾气层。
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