[实用新型]一种酸液循环冷却装置有效
| 申请号： | 201520617308.0 | 申请日： | 2015-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN204825136U | 公开（公告）日： | 2015-12-02 |
| 发明（设计）人： | 郭城;吕明;赵海玲;郭英云;卢国香 | 申请（专利权）人： | 山东科芯电子有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 250200 山东省济*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种酸液循环冷却装置，其制冷压缩机（1）与外涂耐腐蚀特氟龙材质的不锈钢盘管（3）循环连接，外涂耐腐蚀特氟龙材质的不锈钢盘管（3）位于存放酸液的槽体（2）内，所述存放酸液的槽体（2）上设有酸液出酸口（5）和酸液进酸口（4），酸液出酸口（5）通过PP材质酸液循环管道（8）与耐腐蚀PP循环泵（6）连接，耐腐蚀PP循环泵（6）通过PP材质酸液循环管道（8）与酸液进酸口（4）连接。升高的酸温通过冷热交换将热量带出液体，达到稳定酸温的效果；酸液不断循环，使酸液的浓度分布更均匀一致，达到浓度均匀的目的。酸温恒定、浓度一致，晶片与酸液的反应更加均匀，厚度去除误差小，腐蚀形状一致性好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 循环 冷却 装置 | ||
【主权项】：
一种酸液循环冷却装置，其特征是，包括制冷压缩机（1）、存放酸液的槽体（2）、外涂耐腐蚀特氟龙材质的不锈钢盘管（3）、耐腐蚀PP循环泵（6）、酸液出酸口（5）、酸液进酸口（4）及PP材质酸液循环管道（8）；制冷压缩机（1）与外涂耐腐蚀特氟龙材质的不锈钢盘管（3）循环连接，外涂耐腐蚀特氟龙材质的不锈钢盘管（3）位于存放酸液的槽体（2）内，所述存放酸液的槽体（2）上设有酸液出酸口（5）和酸液进酸口（4），酸液出酸口（5）通过PP材质酸液循环管道（8）与耐腐蚀PP循环泵（6）连接，耐腐蚀PP循环泵（6）通过PP材质酸液循环管道（8）与酸液进酸口（4）连接。
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