[实用新型]多晶硅铸锭热场结构

摘要

一种多晶硅铸锭热场结构，包括炉体、隔热笼、石墨导热块及加热器，隔热笼收容于炉体内，隔热笼包括一层保温板及两侧壁，保温板位于隔热笼底部，两侧壁上设第一隔热条，第一隔热条位于保温板上方，石墨导热块收容于隔热笼内，并与保温板具有间距，保温板、第一隔热条及石墨导热块之间形成保温区，加热器固定收容于隔热笼内，加热器覆盖于石墨导热块上方。本实用新型提供的多晶硅铸锭热场结构通过在隔热笼的底部设一层保温板，替代了现有的采用两层保温板的设计，从而使得保温板与石墨导热块之间形成的保温区内的温度不致于太高，从而防止将坩埚底部的硅料全部融化，进而保证坩埚底部能够始终保持一层薄薄的硅料，便于后续晶体的生长。

主权项

一种多晶硅铸锭热场结构，其特征在于，所述多晶硅铸锭热场结构包括炉体、隔热笼、石墨导热块以及加热器，所述隔热笼收容并固定于所述炉体内，所述隔热笼包括一层保温板以及两侧壁，所述保温板位于所述隔热笼的底部，所述两侧壁上均设置有第一隔热条，所述第一隔热条位于所述保温板上方，所述石墨导热块收容并固定于所述隔热笼内，并与所述保温板具有一间距，所述保温板、所述第一隔热条以及所述石墨导热块之间形成保温区，所述加热器固定收容于所述隔热笼内，并且所述加热器覆盖于所述石墨导热块上方。