[实用新型]一种多晶硅坩埚模具

摘要

本实用新型涉及机械模具领域，公开了一种多晶硅坩埚模具，包括坩埚外壳、坩埚隔板和坩埚盖体，所述坩埚外壳与所述坩埚隔板之间存在第一空腔，所述第一空腔可容纳原料，所述坩埚隔板和所述坩埚盖体之间存在第二空腔，所述坩埚盖体上设有加压孔和排气孔，所述加压孔和所述排气孔均与所述第二空腔连通，所述加压孔为所述第二空腔内加压，所述排气孔为所述第二空腔内减压；本实用新型采用坩埚隔板结构设计，实现对坩埚加压，有利于原材料快速成型，结构合理，实用性强，成本较低。

主权项

一种多晶硅坩埚模具，其特征在于，包括坩埚外壳（1）、坩埚隔板（2）和坩埚盖体（3），所述坩埚外壳（1）与所述坩埚隔板（2）之间存在第一空腔（4），所述第一空腔（4）可容纳原料，所述坩埚隔板（2）和所述坩埚盖体（3）之间存在第二空腔（5），所述坩埚盖体（3）上设有加压孔（6）和排气孔（7），所述加压孔（6）和所述排气孔（7）均与所述第二空腔（5）连通，所述加压孔（6）为所述第二空腔（5）内加压，所述排气孔（7）为所述第二空腔（5）内减压。