[实用新型]一种卷式电镀用收膜装置有效
| 申请号： | 201520625813.X | 申请日： | 2015-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN204857667U | 公开（公告）日： | 2015-12-09 |
| 发明（设计）人： | 赵云鹏;操瑞林;刘俊领;金中华 | 申请（专利权）人： | 铜陵丰山三佳微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/48 | 分类号： | H01L21/48 |
| 代理公司： | 铜陵市天成专利事务所 34105 | 代理人： | 莫祚平 |
| 地址： | 244000 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种卷式电镀用收膜装置，包括底座、调速电机、导向辊和收卷辊，所述调速电机的输出轴穿过底座，所述导向辊与底座活动连接，所述收卷辊包括活动外框、中心支架、固定螺帽，活动外框至少分为两部分、活动外框位于中心支架外且活动外框与中心支架活动连接使得活动外框能够接近或远离中心支架从而使能够调整活动外框的直径，所述中心支架与调速电机的输出轴固定连接，所述固定螺帽可拆卸式固连于电机的输出轴上，底座和固定螺帽配合限制活动外框运动。采用了这种结构后，在贴有麦拉膜的铜带经过时用将黏贴在铜带上的麦拉膜撕开一部分并缠绕在收膜装置上，在调速电机的带动下，完成连续收膜，从而减少了人员割伤的危险。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电镀 用收膜 装置 | ||
【主权项】：
一种卷式电镀用收膜装置，其特征在于包括底座、调速电机、导向辊和收卷辊，所述调速电机的输出轴穿过底座，所述导向辊与底座活动连接，所述收卷辊包括活动外框、中心支架、固定螺帽，活动外框至少分为两部分、活动外框位于中心支架外且活动外框与中心支架活动连接使得活动外框能够接近或远离中心支架从而使能够调整活动外框的直径，所述中心支架与调速电机的输出轴固定连接，所述固定螺帽可拆卸式固连于电机的输出轴上，底座和固定螺帽配合限制活动外框运动。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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