[实用新型]一种全自动石英舟上下料机

摘要

本实用新型公开了一种全自动石英舟上下料机，包括机架、抓取移动组件、石英舟载具滑台机构、篮具皮带输送线以及人机界面，抓取移动组件包括双吸盘组件、吸盘左右移动机构以及吸盘上下移动机构，石英舟载具滑台机构包括有一石英舟载具，在石英舟载具内设置有石英舟硅片校正装置，石英舟载具滑台机构底部设置有石英舟上下片托片机构，篮具皮带输送线的底部设置有篮具上下片托片机构，同时篮具皮带输送线上设置有篮具及导引装置，篮具内设置有篮具硅片校正装置，采用真空吸盘吸附硅片，每次可同时对大量硅片进行上下料，提高了工作效率，同时降低了因人工插片而导致的高破碎率，该全自动石英舟上下料机可以将多工序同时进行，节约了人工成本。

主权项

一种全自动石英舟上下料机，包括机架(1)、抓取移动组件(2)、石英舟载具滑台机构(3)、篮具皮带输送线(4)以及人机界面(5)，其特征在于：所述抓取移动组件(2)包括双吸盘组件(21)、吸盘左右移动机构(22)以及吸盘上下移动机构(23)，所述石英舟载具滑台机构(3)包括有一石英舟载具，在所述石英舟载具内设置有石英舟硅片校正装置(31)，所述石英舟载具滑台机构(3)底部设置有石英舟上下片托片机构(32)，所述篮具皮带输送线(4)的底部设置有篮具上下片托片机构(41)，同时所述篮具皮带输送线(4)上设置有篮具及导引装置(42)，所述篮具内设置有篮具硅片校正装置(43)。