[实用新型]惰性气体纯化再生系统有效
| 申请号： | 201520634329.3 | 申请日： | 2015-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN204917955U | 公开（公告）日： | 2015-12-30 |
| 发明（设计）人： | 江晓松 | 申请（专利权）人： | 先普半导体技术(上海)有限公司 |
| 主分类号： | C01B3/50 | 分类号： | C01B3/50 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201100 上海市闵*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种惰性气体纯化再生系统，包括纯化罐、再生气体进料管道、再生气体出料管道，还包括氢气接入装置，所述氢气接入装置包括氢气原料接入管道、氢气过滤器、氢气压力表、氢气流量计、截止阀、氢气再生气体进料支路、固定面板，所述固定面板上固设有氢气压力表、氢气流量计、截止阀和氢气过滤器，所述氢气原料接入管道依次通过氢气压力表、氢气过滤器和氢气流量计之后连接至截止阀的输入端，所述氢气再生气体进料支路一端与截止阀的输出端连接，氢气再生气体进料支路另一端连接至再生气体进料管道。在特殊设计的模块化的氢气接入装置安装方便，拆卸简单，减小了惰性气体纯化再生系统的成本，可以达到一机多用的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 惰性气体 纯化 再生 系统 | ||
【主权项】：
惰性气体纯化再生系统，包括纯化罐、再生气体进料管道、第一气动波纹管阀、第二气动波纹管阀、再生气体出料管道，所述再生气体进料管道与纯化罐顶部连接，所述再生气体出料管道与纯化罐底部贯通连接，再生气体出料管道也设置有第二气动波纹管阀，其特征在于，还包括氢气接入装置，所述氢气接入装置包括氢气原料接入管道、氢气过滤器、氢气压力表、氢气流量计、截止阀、氢气再生气体进料支路、固定面板，所述固定面板上固设有氢气压力表、氢气流量计、截止阀和氢气过滤器，所述氢气原料接入管道依次通过氢气压力表、氢气过滤器和氢气流量计之后连接至截止阀的输入端，所述氢气再生气体进料支路一端与截止阀的输出端连接，氢气再生气体进料支路另一端连接至再生气体进料管道。
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