[实用新型]用于声谐振器设备的衬底有效
| 申请号： | 201520652061.6 | 申请日： | 2015-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN205212799U | 公开（公告）日： | 2016-05-04 |
| 发明（设计）人： | 杰弗里·B·希利 | 申请（专利权）人： | 阿库斯蒂斯有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华;李欣 |
| 地址： | 美国北卡*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于声谐振器设备的衬底。该衬底具有衬底部件，所述衬底部件包括被配置成形成阵列结构的多个支撑部件。在示例中，该衬底部件具有上部区域，并且可选地，具有由支撑部件配置的多个凹陷区域。该衬底具有被形成为覆盖上部区域的一厚度的单晶压电材料。在示例中，所述厚度的单晶压电材料具有第一表面区域和与第一表面区域相对的第二表面区域。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 谐振器 设备 衬底 | ||
【主权项】：
一种用于声谐振器设备的衬底，其特征在于，所述衬底包括：衬底部件，所述衬底部件包括被配置成形成阵列结构的多个支撑部件，所述衬底部件具有上部区域；被形成为覆盖所述上部区域的一厚度的单晶压电材料，所述厚度的单晶压电材料具有第一表面区域和与所述第一表面区域相对的第二表面区域；所述厚度的单晶压电材料的所述第二表面区域的多个暴露区域，每个所述暴露区域由至少一对支撑部件配置并被配置成形成所述阵列结构的元件。
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