[实用新型]一种类金刚石碳微悬梁臂有效

专利信息
申请号: 201520661122.5 申请日: 2015-08-28
公开(公告)号: CN204958378U 公开(公告)日: 2016-01-13
发明(设计)人: 张忠祥 申请(专利权)人: 深圳力策科技有限公司
主分类号: B81B3/00 分类号: B81B3/00;B81C1/00;C23C14/35;C23C14/16
代理公司: 深圳众鼎专利商标代理事务所(普通合伙) 44325 代理人: 朱业刚;谭果林
地址: 518000 广东省深圳市南山*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开了一种类金刚石碳微悬梁臂,类金刚石碳微悬梁臂包括硅衬底、在硅衬底上制作的过渡层、以及通过高能量脉冲式磁控溅射方法制作并覆盖在过渡层表面的DLC薄膜。通过利用高能量脉冲式磁控溅射技术制备而成的DLC薄膜层,通过微加工工艺制作成振荡频率较高、工艺简单、具有良好抗腐蚀能力的微悬梁臂结构。本实用新型的DLC悬梁臂结构以硅作为衬底材料,通过直流或者脉冲电源,在硅晶圆衬底的表面制作过渡层,再利用高能量脉冲式磁控溅射技术制备而成的DLC薄膜层,本实用新型结合压电、静电等驱动结构后,可用作MEMS执行器。
搜索关键词: 种类 金刚石 悬梁
【主权项】:
一种类金刚石碳微悬梁臂,其特征在于:包括硅衬底、在硅衬底上制作的过渡层、以及通过高能量脉冲式磁控溅射方法制作并覆盖在过渡层表面的DLC薄膜层。
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