[实用新型]一种类金刚石碳微悬梁臂有效
申请号: | 201520661122.5 | 申请日: | 2015-08-28 |
公开(公告)号: | CN204958378U | 公开(公告)日: | 2016-01-13 |
发明(设计)人: | 张忠祥 | 申请(专利权)人: | 深圳力策科技有限公司 |
主分类号: | B81B3/00 | 分类号: | B81B3/00;B81C1/00;C23C14/35;C23C14/16 |
代理公司: | 深圳众鼎专利商标代理事务所(普通合伙) 44325 | 代理人: | 朱业刚;谭果林 |
地址: | 518000 广东省深圳市南山*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种类金刚石碳微悬梁臂,类金刚石碳微悬梁臂包括硅衬底、在硅衬底上制作的过渡层、以及通过高能量脉冲式磁控溅射方法制作并覆盖在过渡层表面的DLC薄膜。通过利用高能量脉冲式磁控溅射技术制备而成的DLC薄膜层,通过微加工工艺制作成振荡频率较高、工艺简单、具有良好抗腐蚀能力的微悬梁臂结构。本实用新型的DLC悬梁臂结构以硅作为衬底材料,通过直流或者脉冲电源,在硅晶圆衬底的表面制作过渡层,再利用高能量脉冲式磁控溅射技术制备而成的DLC薄膜层,本实用新型结合压电、静电等驱动结构后,可用作MEMS执行器。 | ||
搜索关键词: | 种类 金刚石 悬梁 | ||
【主权项】:
一种类金刚石碳微悬梁臂,其特征在于:包括硅衬底、在硅衬底上制作的过渡层、以及通过高能量脉冲式磁控溅射方法制作并覆盖在过渡层表面的DLC薄膜层。
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