[实用新型]太阳能级多晶硅片质量自动分类装置

摘要

本实用新型公开了一种太阳能级多晶硅片质量自动分类装置，包括传送装置、用于将待检测的多晶硅片逐个地放置于传送装置上的上料装置、用于对多晶硅片进行质量检测的检测装置，盖检测装置包括沿前后方向间隔排布的多个检测模块，该检测模块包括用于检测多晶硅片厚度、厚度变化率及电阻率的第一检测模块、用于检测多晶硅片上线痕状态的第二检测模块、用于检测多晶硅片上隐裂状态的第三检测模块、用于检测多晶硅片上脏污状态的第四检测模块、用于检测多晶硅片上是否有崩缺的第五检测模块、用于检测多晶硅片尺寸大小的第六检测模块中的一种或多种，该自动分类装置还包括用于将经过所述检测装置检测后的多晶硅片按照缺陷类别进行自动分选的分选装置。

主权项

一种太阳能级多晶硅片质量自动分类装置，包括用于将待检测的多晶硅片由前向后进行传送的传送装置，其特征在于：所述自动分类装置还包括用于将待检测的多晶硅片逐个地放置于传送装置上的上料装置、用于对所述多晶硅片进行质量检测的检测装置，所述检测装置包括沿前后方向间隔排布的多个检测模块，所述检测模块包括用于检测所述多晶硅片厚度、厚度变化率及电阻率的第一检测模块、用于检测所述多晶硅片上线痕状态的第二检测模块、用于检测所述多晶硅片上隐裂状态的第三检测模块、用于检测所述多晶硅片上脏污状态的第四检测模块、用于检测所述多晶硅片上是否有崩缺的第五检测模块、用于检测所述多晶硅片尺寸大小的第六检测模块中的一种或多种，所述自动分类装置还包括用于将经过所述检测装置检测后的所述多晶硅片按照缺陷类别进行自动分选的分选装置。