[实用新型]用于改善蒸发源塞孔装置有效
| 申请号： | 201520666002.4 | 申请日： | 2015-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN204918742U | 公开（公告）日： | 2015-12-30 |
| 发明（设计）人： | 林哲玮;康嘉滨;林进志;李柏德;王玉清 | 申请（专利权）人： | 上海和辉光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 上海申浩律师事务所 31280 | 代理人： | 乐卫国 |
| 地址： | 201506 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于改善蒸发源塞孔装置，该装置包括真空腔室及设置在真空腔室内的蒸发源，本实用新型通过增设激光脉冲对准蒸发源的喷孔位置的激光头，通过激光局部加热喷孔，解决蒸发源的塞孔问题。本实用新型的优点： 1、激光局部加热,不影响材料或蒸镀率。2、激光可架在真空腔室外，不影响腔室内空间，容易设计，可外加。3、激光角度可调,可对应各式蒸发源或防着板的不同位置。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 改善 蒸发 源塞孔 装置 | ||
【主权项】：
用于改善蒸发源塞孔装置，包括真空腔室及设置在真空腔室内的蒸发源，其特征在于，还包括激光脉冲对准蒸发源的喷孔位置的激光头。
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