[实用新型]一种基于扩散炉的进出舟装置

摘要

本实用新型涉及扩散炉领域，具体涉及一种基于扩散炉的进出舟装置，该进出舟装置上安装有石英舟，该石英舟通过进出舟装置在扩散炉与插片机之间往返，该进出舟装置包括：载体，其包括底板和设置在底板上的定位件，该石英舟与定位件配合安装，该石英舟通过定位件固定在底板上；运输平台，其包括运输轨道和动力机构，该动力机构设置在运输轨道上，该载体放置在运输轨道上，并通过动力机构的带动在运输轨道上往返。本实用新型通过设计一种基于扩散炉的进出舟装置，石英舟通过运输平台将载体上，实现在扩散炉与插片机之间往返，从而形成生产自动一体化，提高生产效率；同时进出舟装置结构简单，其具有生产成本低廉、运行可靠、维护方便等优点。

主权项

一种基于扩散炉的进出舟装置，该进出舟装置上安装有用于放置硅片的石英舟，该石英舟通过进出舟装置在扩散炉与插片机之间往返，其特征在于，该进出舟装置包括：载体，其包括底板和设置在底板上的定位件，该石英舟与定位件配合安装，该石英舟通过定位件固定在底板上；运输平台，其包括运输轨道和动力机构，该动力机构设置在运输轨道上，该载体放置在运输轨道上，并通过动力机构的带动在运输轨道上往返；感应单元，其设置在运输平台上，其包括石英舟感应器和硅片感应器，该动力机构根据石英舟感应器和硅片感应器的反馈信息带动在运输轨道上往返。