[实用新型]一种基于腔内倍频技术的紫外脉冲固体激光器

摘要

本实用新型公开了一种基于腔内倍频技术的紫外脉冲固体激光器，包括泵浦源、光学耦合系统、掺钕离子的YAG激光晶体、掺Cr⁴⁺离子的YAG激光晶片、LBO倍频晶体、输出镜、聚焦透镜、BBO倍频晶体、紫外滤光片。激光器的结构设计简单、系统体积小、坚固，并且节约成本。

主权项

一种基于腔内倍频技术的紫外脉冲固体激光器，包括泵浦源、光学耦合系统、掺钕离子激光晶体、掺Cr⁴⁺离子激光晶片、LBO倍频晶体、输出镜、聚焦透镜、BBO倍频晶体、紫外滤光片，其特征在于：所述掺钕离子激光晶体长度为3.0mm，并且前端面镀808nmAR/1064nmHR膜，作为谐振腔的一个镜面，另一面镀1064nmAR膜；所述泵浦源发出的激光通过光学耦合系统耦合至增益介质掺钕离子激光晶体上，厚度为1.4mm的掺Cr⁴⁺离子激光晶片为被动调Q元件，紧贴掺钕离子激光晶体放置，LBO倍频晶体放置在掺Cr⁴⁺离子激光晶片后面，在掺钕离子激光晶体与输出镜形成的谐振腔中形成腔内倍频，LBO倍频晶体两面均镀1064nmAR/532nmAR膜，经输出镜输出532nm的绿光，输出的绿光经过聚焦透镜后进入四倍频晶体BBO倍频晶体中，实现了532nm至266nm的激光频率转换，最后经过紫外滤光片输出266nm的紫外激光；所述掺钕离子激光晶体、掺Cr⁴⁺离子激光晶片、LBO倍频晶体及BBO倍频晶体周围分别设置紫铜散热装置，所述紫铜散热装置分别紧贴掺钕离子激光晶体、掺Cr⁴⁺离子激光晶片、LBO倍频晶体及BBO倍频晶体周围设置。