[实用新型]生长大尺寸蓝宝石的单晶炉改进结构有效
申请号: | 201520675592.7 | 申请日: | 2015-09-02 |
公开(公告)号: | CN204939656U | 公开(公告)日: | 2016-01-06 |
发明(设计)人: | 左洪波;杨鑫宏;张学军 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨奥瑞德光电技术有限公司 |
主分类号: | C30B17/00 | 分类号: | C30B17/00;C30B29/20 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 150001 黑龙江*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种生长大尺寸蓝宝石的单晶炉改进结构,它包括上部、侧面及底部保温结构,上部与底部保温结构与前期专利中相同,不同之处在于侧面保温结构由上下结构相同改为由上至下保温层厚度逐渐减小,鸟笼状加热体直径由上至下逐渐减小,呈倒锥形。本实用新型热场均匀合理,晶体生长速度稳定,可有效减少晶体产生云雾、粘埚等缺陷,工艺控制人员依赖性低,晶体生长成品率高。 | ||
搜索关键词: | 生长 尺寸 蓝宝石 单晶炉 改进 结构 | ||
【主权项】:
一种生长大尺寸蓝宝石的单晶炉改进结构,它包括上部、侧面及底部保温结构和鸟笼状加热体,上部保温结构包括上钼隔热屏和钼坩埚盖,侧面保温结构包括钼筒隔热屏和陶瓷保温层,底部保温结构包括下钼隔热屏和底部陶瓷保温层,其特征在于所述的侧面保温结构由上至下陶瓷保温层厚度逐渐减小,钼筒隔热屏为多层钼筒,内部靠近加热体的2~6层为非全高钼筒,外部为全高钼筒,非全高钼筒由内至外高度逐渐增大,相邻钼筒高度差逐渐减小,鸟笼状加热体直径由上至下逐渐减小,呈倒锥形。
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