[实用新型]一种用于小型电子芯片的清理装置有效
申请号: | 201520681000.2 | 申请日: | 2015-09-06 |
公开(公告)号: | CN204946869U | 公开(公告)日: | 2016-01-06 |
发明(设计)人: | 张帮岭 | 申请(专利权)人: | 铜陵晶越电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 铜陵市天成专利事务所 34105 | 代理人: | 程霏 |
地址: | 244000 安徽省铜*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种用于小型电子芯片的清理装置,包括机架,所述机架上设有两个并排排布的皮带传送带,所述两个皮带传送带之间设有传动轮,传送轮被两个皮带传送带所驱动,所述传动轮连接铁质链轮,位于前端的皮带传送带上设有防护罩,所述防护罩的内腔顶端设有静电盒,所述静电盒内设有静电发生器,所述静电发生器通过导杆固接细毛刷,所述细毛刷位于皮带传送带的正上方。本实用新型利用带电体吸引微小物体的物理特性对小型芯片进行清理,并通过位于传送带之间的铁质链轮对小型芯片进行去静电保护,从而有效的去处小型芯片在加工时所粘附的杂质。本实用新型结构简单、使用方便,能够快速有效的清理小型芯片,降低人工工作强度。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 小型 电子 芯片 清理 装置 | ||
【主权项】:
一种用于小型电子芯片的清理装置,包括机架(1),其特征是所述机架(1)上设有两个并排排布的皮带传送带(2),所述两个皮带传送带(2)之间设有传动轮,传送轮(7)被两个皮带传送带(2)所驱动,所述传动轮(7)连接铁质链轮(8),位于前端的皮带传送带(2)上设有防护罩(3),所述防护罩(3)的内腔顶端设有静电盒(4),所述静电盒(4)内设有静电发生器,所述静电发生器通过导杆(5)连接细毛刷(6),所述细毛刷(6)位于皮带传送带(2)的正上方。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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