[实用新型]化学气相沉积或外延层生长反应器及其基片托盘和支撑轴有效
| 申请号： | 201520681445.0 | 申请日： | 2015-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN204982132U | 公开（公告）日： | 2016-01-20 |
| 发明（设计）人： | 姜勇;郑振宇 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/12 | 分类号： | C30B25/12;C23C16/458 |
| 代理公司： | 上海信好专利代理事务所(普通合伙) 31249 | 代理人： | 徐雯琼;张静洁 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种化学气相沉积或外延层生长反应器，所述反应器内设置至少一基片托盘及其支撑轴，所述基片托盘包括一第一表面和一第二表面，所述基片托盘的第二表面设置有至少一个向内凹陷的凹进部；所述支撑轴包括：主轴部；与所述主轴部的一端相连接、并沿所述主轴部外围向外延伸开来的支撑部，所述支撑部包括一延展面；以及与所述主轴部相连接、并沿着与所述主轴部相反的方向延伸一高度的插接部；所述延展面外围设置一支撑台，所述支撑台包括一支撑面，所述基片托盘的第二表面至少部分地与所述支撑台的支撑面接触，以实现支撑轴对基片托盘的支撑。所述支撑轴可以带动基片托盘实现平稳快速转动。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 沉积 外延 生长 反应器 及其 托盘 支撑 | ||
【主权项】：
一种用于化学气相沉积或外延层生长反应器内的支撑轴，用以支撑基片托盘并带动其旋转，其特征在于：所述支撑轴包括：主轴部；与所述主轴部的一端相连接、并沿所述主轴部外围向外延伸开来的支撑部，所述支撑部包括一延展面；以及与所述主轴部相连接、并沿着所述延展面向与所述主轴部反方向延伸一高度的插接部；所述延展面上方环绕所述插接部设置一个或多个支撑台，所述支撑台包括支撑面用以支撑基片托盘，所述支撑面高于所述延展面一段距离。
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